振动监测可用于监测机器的健康状况以便维护和保障安全。对于此类型的应用，目标是将可观察到的振动与典型的磨损部件相关联，例如轴承、齿轮、链条、线圈和阀门。另一种应用是高速自动化设备的振动监控，以触发润滑、速度或皮带张力的反馈控制。 振动传感通常关注振动的幅度，而不是绝对位置跟踪，因此利用MEMS加速度计感测线性运动足以捕获所需信息。

华托的面内体微加工的开环和闭环加速度计可用于各种振动传感应用。