倾角仪，也称为倾角传感器或倾斜传感器，用于测量物体相对于地球重力方向的方位角。倾角仪测定俯仰角或翻滚角，并通过适当的电气接口输出测量值。

华托的面内体微加工工艺允许利用全桥电容感应配置以实现寄生抑制，性能改善后，在推荐的应用范围±2g和±5g内，可实现低于1μg/√Hz的噪声密度。

此外，由于采用了电容面积变化概念，面内设计能够改善线性度。在SOI晶圆衬底层中实现的大检验质量块有助于提高灵敏度。当器件倾斜时，该质量块将轻微移动，导致电容变化，并且可以从加速度输出中计算出倾斜角度。