Key Features 关键特性
高性能单轴MEMS加速度计
量程:±14g
零偏不稳定性:4μg
振动整流误差:20μg/g2
24位SPI数字输出接口
超低噪声:15μg/√Hz
嵌入式温度传感器
内置自检
工作温度 :−55°C 至 +105°C
12×12mm J-Lead陶瓷密封封装
重量:1.4g
General Description 产品描述
HA3015传感器由MEMS传感器和集成电路(IC)组成,封装在28引脚的 J-leaded 陶瓷管壳中。
该MEMS传感器基于单晶硅微加工工艺及晶圆级封装技术制造。
当传感器受到线性加速度作用时,加速度作用于质量块,其本身受到的惯性力与静电力平衡(闭环运行)。
该传感器在出厂时进行了针对温度影响的校准和补偿,可以在广泛的温度范围内提供高精度数字输出。 客户也可以选择原始数据输出自行补偿。
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